Data di Pubblicazione:
1993
Citazione:
“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” / A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1993), pp. 497-504. ( Eurosim Conference, Eurosim '92 Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992).
Tipologia CRIS:
2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Elenco autori:
A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
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Titolo del libro:
Eurosim '92: Simulation Congress : Proceedings of the 1992 Eurosim Conference, Eurosim '92, Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992