Excimer laser patterning properties of amorphous diamond

Chapter

Publication Date:

1996

Short description:

Excimer laser patterning properties of amorphous diamond / S., Martellucci; Santangelo, Saveria; A., Paoletti; G., Petroccelli; C., Pontorieri; A., Tebano; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1996), pp. 61-66. (Intervento presentato al convegno Micro System Technologies ’96, tenutosi a BERLINO).

Iris type:

2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)

List of contributors:

S., Martellucci; Santangelo, Saveria; A., Paoletti; G., Petroccelli; C., Pontorieri; A., Tebano; A., Tucciarone; Messina, Giacomo

Authors of the University:

MESSINA Giacomo

SANTANGELO Saveria

Handle:

https://iris.unirc.it/handle/20.500.12318/10149

Book title:

Micro System Technologies ’96