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Pubblicazioni
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Rivista
Codice:
E109971
ISSN:
0167-9317
Dati Generali
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Pubblicazioni (12)
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A single quality factor for electron backscattering from thin films
Articolo
Design and characteristics of a GaAs BMFET
Articolo
Electron scattering effects in additive patterning of XRL masks for 0.2 micron resolution
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Physical approximants to electron scattering
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Short-range and long-range scattering in electron beam lithography
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Tungsten/carbon masks in x-ray projection lithography
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X-ray mask making by EBL and Monte Carlo analysis of a single-resist layerprocess on low-Z membrane
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